实验室镀膜机

简要描述：实验室镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、操作简单灵活、性能稳定、易维护的特点，尤其适用于实验室高校使用，客户可根据自身不同需求选配。

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厂商性质：生产厂家
更新日期：2024-08-06
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产品介绍：

　　实验室镀膜机采用磁控溅射及阴极电弧相结合的镀膜技术，既满足了对膜层致密性要求，又满足了高离化率的要求；立式结构，工件卷绕系统垂直安装在真空室内；多室门设计，阴极安装在侧门上，可装六套阴极源或离子源，开门即可对靶进行维护或更换；设备可一次性进行工件表面处理及镀制多层膜，实现多层膜沉积。适用多种金属或化合物镀膜材料。

　　实验室镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、操作简单灵活、性能稳定、易维护的特点，尤其适用于实验室高校使用，客户可根据自身不同需求选配。

实验室镀膜机技术参数：

制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
加热方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
最大功率	≤1200W
最大输出电压电流	电压≤12V 电流≤120A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤10^-3Pa
挡板类型	电控
真空腔室	不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （最大可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品蒸发源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1800℃
支持蒸发坩埚类型	钨丝蓝带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳
预留真空接口	KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）

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